あらゆる産業の中で、もっとも顕著なテクノロジーの進化を遂げているのが半導体産業です。先端半導体を搭載したスマートフォンをはじめとするデジタルデバイスや高速無線通信技術は、その最たる例といえます。今やコンピュータや電波を使用するものはすべて半導体に依存しており、私たちの生活は20年前とは比較にならないほど便利かつ快適になりました。今後も市場の成長が見込まれる中、自動運転、人工知能、メタバースなど、半導体が創るより豊かな未来に期待が寄せられています。
そんな半導体の製造プロセスにおいて、対象物に薄い膜を形成する成膜工程を担う装置の主要機器として搭載されているのがCKDの真空圧力比例制御システム「VEC」です。ウェーハと呼ばれる半導体物質の結晶でできた円形の薄い板が格納されたチャンバー内の圧力を精密にコントロールすることで、半導体製造のプロセス条件をクリアするとともに、高い生産性を実現します。

同時に、進化を続ける半導体産業では製造プロセスの微細化が年々進んでいます。微細化とは、半導体デバイスをより小さく作ることを意味します。これにより高速化・省電力化・低コスト化の実現が可能になりますが、微細化を追求するほど高精度な装置・部品が必要とされ、VECに求められる性能の要求レベルも飛躍的に上昇します。例えば、去年までは要求を満たしていた性能が一転、業界の進化により早急な改善を求められることも。また、時にはエンドユーザーである半導体メーカー様から直接ご相談を受けるケースもあります。常に変化し続けるお客様ニーズへの対応として装置メーカー様などとの連携も欠かせません。

幸いにも、今では新たな課題が発生する度にお客様から真っ先に連絡をいただける関係を築くことができています。毎回緊張の連続ですが、最先端をいく半導体産業を現場の最前線で支えることはセールスエンジニアの醍醐味でもあります。

VECはもともと個別に採用されていた複数の機器を１つに集約したALL IN ONE商品かつONLY ONE商品です。1996年の発売開始以来、改良を続けながら世界中の半導体製造に貢献してきました。
一方で、改良を重ねながらもあくまで機械のため、長期間稼動によるトラブル発生を避けることはできません。そのため、定期的にメンテナンスを行い、できるだけ長く安定稼働させることでトラブルによる生産ライン停止を極力抑えることが重要であり、その考えを前提にCKDは台湾でのメンテナンス事業も展開しています。
2007年にスタートしたメンテナンス事業では、現地の協力企業と提携し、日本と同じ設備・作業品質を安定的に提供できる体制を整えています。事業立ち上げからひとつずつ着実に評価を積み重ね、現在では数多くの機器のメンテナンスを任せていただけるほど事業としても成長し、お客様の安定稼働に貢献しています。

もちろん現状に満足せず、今後も継続して最先端プロセスに通用するメンテナンス品質を追求していきます。 その一環として、台湾での迅速な課題解決を図るべく、2021年にはVEC専門のエンジニアが駐在する台湾喜開理股份有限公司 Tech Centerを開設しました。
これからも微細化を中心にお客様の進化・変化は続いていきます。どれだけ追求しても終わりはありません。最先端ニーズを的確にキャッチし商品にフィードバックできるように、今後もお客様と密にコミュニケーションをとりながら信頼関係を築いていきたいと考えています。