优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

采用线性滑台，导轨和卡爪座的一体结构实现了高刚性。
此外，安装方向有轴（上）、横向、纵向3种可选，设计更为自由。
【动作行程】4, 6, 10, 14mm

行业

采用高密封性截止阀结构的大流量3通阀。适用于驱动φ400以下气缸的内部先导式NP※R系列。正压及负压（真空）可通用的外部先导式NP、NVP系列。按用途分为2种。
与传统型号（NAP和NVP※R系列）相比，功耗降低高达78%，有助于节能…

行业

带高精度导轨的超级紧凑型气缸（SSD）的小口径系列。缸径尺寸为Φ6 ～Φ16。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解镀镍…

行业

是追求碳中和·高可靠性·易于使用的插装阀。耐久次数1.2亿次。即使长期使用也能实现空气泄漏极少。最大限度地减少设备不运行时的空气泄漏，有助于减少二氧化碳的排放。阀宽10mm、16mm的2种类型可供选择。
追加带进气截止阀隔板、带φ10…

行业

• 夹紧
• 搬运
• 夹具关联
• 耐环境
• 组装

小型、轻量、省空间的管路直接型过滤器。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

行业

最适用于进行大流量真空控制的真空切换单元。

【真空阀有效截面积】 : 16.5　(㎟)

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

行业

最适用于大流量控制的真空发生器单元。

【喷嘴直径】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸入流量】24～180　(L/min(ANR))

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、…

行业

带破坏空气流量＆溢流压力调整针阀的真空切换单元。
集成了所有功能的标准型。

【真空阀有效截面积】3.5, 5　(㎟)

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

行业

带破坏空气流量＆溢流压力调整针阀的真空发生器单元。

【喷嘴直径(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸入流量(L/min(ANR))】7～38

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、…

行业