产品列表
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- 半导体制造工序
- 化学气体供给设备用元件
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
孵化产品【特殊规格产品】
方向控制阀集成 底部配管系列【特殊规格产品】
- 型号
- M3/4GB・M3QRB
NEW
底部配管规格的集成电磁阀。适用于安装在食品机械、水处理工厂、半导体制造装置等节省空间的控制柜中。通过与密封垫*1组合，可在要求防滴性的控制柜中实现空气和电气的分离设置。*1 可从本公司购买。
- 行业
- 半导体制造工序（前工序）
- 化学气体供给设备用元件
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CKD plus 仅限会员
直动式3通电磁阀
模块集成阀
- 型号
- MN3Q
每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】
- 行业
- 半导体制造工序（前工序）
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 氮气清洗关联元件
先导式3・4・5通电磁阀
先导式3・5通阀
- 型号
- 4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR
【NEW】扩大了对应通信。
优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】
- 行业
- 组装
- 气源供给装置
- 精制水生产
- 调整
- 过滤
- 制袋（输液袋）
- 填充
- 杀菌（高压灭菌器）
- 包装
- 压片
- 培养
- 分装
- 灭菌装置
- 理化分析设备
- 半导体制造工序（后工序）
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 氮气清洗关联元件
先导式3・4・5通电磁阀
PLC对应型模块集成阀
- 型号
- MN3E・MN4E
采用盒式设计，是进一步实现了小型化（高39.5mm）的高性能3・4通模块集成阀。
【适用缸径：Φ20～Φ40】
- 行业
- 半导体制造工序（前工序）
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 氮气清洗关联元件
气控式3・4・5通阀
气控阀
- 型号
- 4GA/BR・M4GA/BR
优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀的气控阀。
【适用缸径：Φ20～100】
- 行业
- 组装
- 气源供给装置
- 精制水生产
- 调整
- 过滤
- 制袋（输液袋）
- 填充
- 杀菌（高压灭菌器）
- 包装
- 压片
- 培养
- 分装
- 灭菌装置
- 理化分析设备
- 半导体制造工序（后工序）
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 氮气清洗关联元件
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD5
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD4
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD3
集成化供气系统
洁净面板
- 型号
- FICS
工艺气体用元件
工艺气体用阀
- 型号
- LGD
采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
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- 行业
- 半导体制造工序
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