搭载了高刚性线性导轨的薄型本体。这是追求高刚性、长寿命、高精度的进化类线性导轨卡爪。实现了比以往30%以上的高刚性，比以往2倍以上的耐久性。可从3种行程中，根据用途进行选择。

【缸径】φ8×2、φ12×2、φ16×2、φ20×…

行业

• 组装
• 移载
• 检查

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

FP1：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）。

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

【NEW】对应尺寸12(本体宽度：120㎜)

采用外轨，外形紧凑、刚性高。有助于设备省空间化。

FP1：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）。

行业

• 组装

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

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• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

是追求碳中和·高可靠性·易于使用的插装阀。耐久次数1.2亿次。即使长期使用也能实现空气泄漏极少。最大限度地减少设备不运行时的空气泄漏，有助于减少二氧化碳的排放。阀宽10mm、16mm的2种类型可供选择。
追加带进气截止阀隔板、带φ10…

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• 夹紧
• 搬运
• 夹具关联
• 耐环境
• 组装

内置外轨式导轨，减少了并设导向的必要性。 实现了紧凑高刚性的模型，有助于节省装置空间。另外，由于可以搭载无电池绝对编码器，即使在紧急停止时也可以保留当前位置信息，不需要原点复位。维护方面，从本体侧面的润滑加注口一并注油，本体上下两面都可以设…

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• 搬运
• 组装

使用外轨式导轨，实现了小巧且高刚性的模型。降低执行器的尺寸有助于节省装置的空间。 另外，由于可以搭载无电池绝对编码器，即使在紧急停止时也可以保留当前位置信息，不需要原点复位。维护方面，从本体侧面的润滑加注口一并注油，本体上下两面都可以设置，…

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• 搬运
• 组装
• 检查

【NEW】对应尺寸12(本体宽度：120㎜)

可安装各厂商马达进行控制的电动执行器无马达规格。
采用缸体与导轨一体的外导轨方式，追求紧凑、高刚性。本体外配备润滑脂加注口，可从本体上面安装，易于安装，维护性优异。
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• 组装
• 检查

【停产产品】
代替产品：AX1R・AX2R・AX4R・AXD系列

执行器全部采用绝对值型位置检测器。
驱动器与执行器的组合具有兼容性。本产品用途广泛，可用于组装工序等。

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