实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5

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• 半导体制造工序（后工序）

10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装的真空发生器单元。
【喷嘴直径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸入流量】3～26　(L/min(ANR))

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最适用于大流量控制的真空发生器单元。
【喷嘴直径】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸入流量】24～180　(L/min(ANR))

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小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空发生器单元。
省配线集成型。
【喷嘴直径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸入流量】7～24　(L/min(ANR))

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备有不同性能和形状的丰富类型，适用于多种条件。
【喷嘴直径】:0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸入流量】:7～180　(L/min(ANR))
FP1：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑…

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【停产产品】

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