最适用于需要细小工件吸附系统或检查系统等的精密压力调整的回路中。紧凑、大流量、高精度的真空减压阀。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

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紧凑型FR单元。
确保在室外使用的耐久性。
外观金属化。
机能零件使用高耐腐蚀性零件。
防雨、防虫对策

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具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性，尺寸紧凑的同时，溢流流量大。
P70：排气处理

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可在洁净室内使用的禁油规格的小型减压阀。
P80：禁油处理
P90：禁油处理，排气处理，使用不锈钢制
P94：禁油处理，使用不锈钢，铜、硅、卤素系材料使用限制

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采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢

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【停产产品】

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【停产产品】
代替产品：WR系列

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