采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。

行业

压力表嵌入型，结构紧凑，无需工具即可调整压力。
FP1：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）。

行业

最适用于需要细小工件吸附系统或检查系统等的精密压力调整的回路中。紧凑、大流量、高精度的真空减压阀。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

行业

紧凑、省空间、内置逆流功能型的小型减压阀。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解镀镍。

行业

环保型新型精密减压阀。采用特殊构造，实现了耗气量的大幅度削减。控制性能优异、紧凑而又精度高，可用于精密的张力控制等各种用途。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

行业

具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性，尺寸紧凑的同时，溢流流量大。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解镀镍。

行业

压力表嵌入型，结构紧凑，无需工具即可调整压力。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解镀镍。

行业

紧凑型FR单元。
确保在室外使用的耐久性。
外观金属化。
机能零件使用高耐腐蚀性零件。
防雨、防虫对策

行业

【NEW】新增了室外规格减压阀R3000系列。此外，室外规格减压阀在全机种中强化了温度规格。

确保在室外使用的耐久性。
外罩，压力表插块的金属化，采用强化玻璃。
机能零件使用高耐腐蚀性零件。
防雨、防虫对策。

行业

采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢

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