可在洁净室内使用的禁油规格的小型减压阀。

行业

单向阀迅速排出2次侧压力。无需旁通回路，配管也很容易。

行业

压力上升时，将压缩空气排放至大气，以保持设定压力。

行业

小型减压阀。

除了标准品以外，还备有以下种类。
P11：臭氧对应品

行业

采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。

行业

【停产产品】
代替产品：R※※00系列

行业

【停产产品】
代替产品：RP系列

行业

具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性，尺寸紧凑的同时，溢流流量大。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解镀镍。

行业

环保型新型精密减压阀。采用特殊构造，实现了耗气量的大幅度削减。控制性能优异、紧凑而又精度高，可用于精密的张力控制等各种用途。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

行业

紧凑、省空间、内置逆流功能型的小型减压阀。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解镀镍。

行业