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高真空用元件

真空压力控制系统

型号
IAVB

既保持了高真空阀原本的可靠性,还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
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高真空用元件

高真空用气控阀

型号
AVB

结构特殊,采用CKD独有的成型波纹管,实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
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高真空用元件

高真空用手动阀

型号
MVB

手柄旋转式高真空用手动阀。
备有铝阀体型和SUS阀体型。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
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高真空用元件

高真空用气控阀

型号
AVB※1V

2011年09月30日销售中止

【停产产品】
代替产品:高真空用气控阀AVB系列

行业
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高真空用元件

高真空用气控阀

型号
AVP

2023年06月30日销售中止

【停产产品】
代替产品:AVB系列

双O形圈密封方式的气控阀。不锈钢阀体。

行业
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高真空用元件

高真空用手动阀

型号
MVP

2023年06月30日销售中止

【停产产品】
代替产品:MVB系列

手柄旋转式手动阀。双O形圈密封方式的不锈钢阀体。

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高真空用元件

电动真空阀

型号
EVB

2021年03月31日销售中止

【停产产品】
代替产品:IAVB系列

通过马达驱动调整阀的开度,实现了多种导率的电动真空阀。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
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