产品详情

流量传感器・控制器

气体用小型流量传感器 RAPIFLOW(R)

型号
FSM2

双画面双色显示气体用小型流量传感器。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。

行业
  • 保护气体
  • 检查
  • 理化分析设备

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【大流量、小体积】
流量范围:0.5~1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。

【无需直管部位】
内置新的整流机构,上游侧和下游侧均无需直管部位,可自由设置。

【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。

【高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片,实现50m/sec的响应速度。

【洁净规格】
标配有P70(防止发尘)、P80(禁油规格)产品。
最适合半导体、液晶制造领域的用途。

型号 名称 流量范围(L/min)配管口径(Φ, Rc) 备注
FSM2-A显示分离型0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/2
FSM2-N显示一体型(开关输出NPN 2点、模拟输出1点)0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/2
FSM2-P显示一体型(开关输出PNP 2点、模拟输出1点)0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/2

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