流量制御やクリーン対応、環境対策・省エネルギーなどに対応する製品をラインナップ。「F.R.L.ユニット」、「エアドライヤ」等のクリーンエアシステム及び空気圧補助機器の実績を活かし、システム周辺機器を拡充。空気圧シリンダや電動アクチュエータ等の駆動機器も充実しています。

「高品質＆ワイドバリエーション」をテーマに、水・空気・ガス・蒸気・油等の流体を制御し、有効に活用するためのユニットやシステム開発を手がけています。

半導体・液晶産業では超クリーンな環境で使用できる制御機器が要求されます。「薬液制御機器」「プロセスガス制御機器」「高真空制御機器」など半導体関連装置の供給系から排気系まで高精度、高性能を約束するため、"超ハイレベルプロセス制御"へ挑戦を続けています。

「より高精度に、より速く、よりローコスト」をテーマに、独自の視点と技術力を付加して誕生させた、ニーズ密着型商品です。制御性、出力性、剛性、高速性、円滑性等の条件に合わせバリエーションも豊富です。