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半导体制造工序
化学气体供给设备用元件

从半导体元件制造设备至生产工艺装置,分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上,还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。

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