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产品详情

电空减压阀

洁净室用P5※ / P7※系列 薄型电空减压阀

型号
MEVT

洁净元件用 P5※ / P7※系列

行业

省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。
P70:排气处理

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安全注意事项

CKD plus 仅限会员

产品功能

【薄型14mm、轻量80g】
集成度高,最多可进行24连集成。

【省配线对应】
支持串行传输(DeviceNet、CC-Link)、集中端子台、D-Sub接插件。

【2方向安装】
可从底面、背面2个方向安装。

【高精度、高响应】
重复精度:0.3%F.S.
响应时间:0.1sec(空载时)

衍生系列
型号EVT-P70
产品名称
单体(洁净室用)
压力控制范围(MPa)
0~0.1
配管口径(Φ)
4, 6
备注
型号MEVT-P70
产品名称
集成阀(洁净室用)
压力控制范围(MPa)
0~0.5
配管口径(Φ)
4, 6
备注

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