产品详情
减压阀
洁净室用P5※ / P7※系列 净化减压阀
- 型号
- RC2000
洁净元件用 P5※ / P7※系列
采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢
- 产品功能
【禁油规格】
实施精密清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的一条龙生产。
接触气体部位不使用润滑脂。【紧凑•大流量】
对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。
（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）【带可逆流功能】
具有排放1次侧压力时，2次侧压力向1次侧逆流的功能。
2次侧不残留压力，重视安全性。（不施加背压时）
- 衍生系列
-
- 型号RC2000-8-P90
- 产品名称
- 净化减压阀(洁净室用)
- 配管口径（Rc）
- 1/4
- 设定压力范围(MPa)
- 标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2
- 备注
- 型号RC2000-10-P90
- 产品名称
- 净化减压阀(洁净室用)
- 配管口径（Rc）
- 3/8
- 设定压力范围(MPa)
- 标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2
- 备注
- 型号RC2000-15-P90
- 产品名称
- 净化减压阀(接单生产品)(洁净室用)
- 配管口径（Rc）
- 1/2
- 设定压力范围(MPa)
- 标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2
- 备注