产品详情
上浮基板
玻璃基板上浮模组
- 型号
- GFM
- 产品功能
【非接触上浮搬运】
通过采用新型多孔材料,实现了稳定的上浮。
不用接触工件即可顺畅搬运,且可防止工件带电。【可视性提高】
通过采用黑色本体,无散射,提高了工件的可视性。
最适用于高灵敏度检查。
抑制了上浮空气的颗粒。【根据用途选择】
可根据精密上浮、玻璃面板搬运、制程工序的装载等用途,自由选择上浮导轨和上浮盘。
- 衍生系列
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- 型号GFM-A
- 产品名称
- 校准上浮盘
- 上浮量(参考)
- 10μm以上
- 主要用途
- 定位
- 备注
- 型号GFM-T
- 产品名称
- 高上浮导轨
- 上浮量(参考)
- 250μm以上
- 主要用途
- 玻璃面板搬运
- 备注
- 型号GFM-RF
- 产品名称
- 上浮导轨
- 上浮量(参考)
- 250μm以上
- 主要用途
- 搬运
- 备注
- 型号GFM-RS
- 产品名称
- 上浮导轨
- 上浮量(参考)
- 150μm以上
- 主要用途
- 装载・卸载
- 备注
- 型号GFM-P
- 产品名称
- 精密上浮台
- 上浮量(参考)
- 30μm以上
- 主要用途
- 各种工序
- 备注