产品详情
直动式3通电磁阀
模块集成阀
- 型号
- MN3Q
- 行业
- 半导体制造工序（前工序）
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 氮气清洗关联元件
每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】
- 产品功能
【小形化】
直接安装时高34mm。
DIN导轨安装时高39mm。
也可安装在狭窄空间。
【可面板安装】
进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【扁平电缆、D-Sub接插件】
接插件的取出方向可从上方、横向中选择。
- 衍生系列
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- 型号N3Q0660
- 产品名称
- 阀模块单体
- 安装方式
- DIN导轨安装方式
- 配管口径
- 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5
- 备注
- 型号MN3Q0660
- 产品名称
- 模块集成阀
- 安装方式
- DIN导轨安装方式
- 配管口径
- 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5
- 备注
- 型号MT3Q0660
- 产品名称
- 模块集成阀
- 安装方式
- 直接安装方式
- 配管口径
- 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5
- 备注