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产品详情

特殊气缸

空气轴承

型号
LBC
行业
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 安装

采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀(EV)的组合,实现细致精密的负荷控制。

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产品功能

【滑动零阻力】
采用完全非接触设计,滑动零阻力,因此可实现高响应、与供给压力成线性比例的推力控制。

【洁净】
动作时完全非接触,因此无发尘。

衍生系列
型号LBC-01
产品名称
单作用・加压伸出型
推力(N)
1
备注
型号LBC-05
产品名称
单作用・加压伸出型
推力(N)
5
备注
型号LBC-30
产品名称
单作用・加压伸出型
推力(N)
10
备注

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