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产品详情

电空减压阀

PARECT 电空减压阀

型号
EVS2

NEW

行业
  • 半导体制造工序(后工序)

【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

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安全注意事项

操作说明书

CKD plus 仅限会员

产品功能

【提高性能,追加产品种类】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加压力种类 -100kPa(负压)、200kPa(中压)、900kPa(高压)

【小型】
30×39×57.1(宽×高×长)。
小型、轻量,有助于装置的小型化。

【高精度】
通过电气信号,高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
响应时间:0.1sec(无负荷)

【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器,设定压力时,显示为绿色,设定以外与错误时,显示为红色。

【配管、配线作业简单】
空气配管:采用快插接头,电气配线:采用M12接头,配管、配线作业简单。

衍生系列
型号EVS2-100
产品名称
PARECT 电空减压阀
压力控制范围(MPa)
0.001~0.1
配管口径(Φ)
4, 6
备注
型号EVS2-500
产品名称
PARECT 电空减压阀
压力控制范围(MPa)
0.005~0.5MPa
配管口径(Φ)
4, 6
备注
型号EVS2-10V
产品名称
PARECT电空减压阀
压力控制范围(MPa)
-0.0053~-0.0912
配管口径(Φ)
4,6
备注
型号EVS2-200
产品名称
PARECT电空减压阀
压力控制范围(MPa)
0.002~0.2
配管口径(Φ)
4,6
备注
型号EVS2-900
产品名称
PARECT 电空减压阀
压力控制范围(MPa)
0.009~0.9
配管口径(Φ)
4,6
备注

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