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产品详情

减压阀

先导式减压阀

型号
PMP

NEW

行业
  • 半导体制造工序(前工序)

可通过先导空气控制,使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合,可通过远程操作变更设定压力。

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CKD plus 仅限会员

产品功能

【高精度、高速响应】
采用膜片结构,具备高精度压力稳定性,支持高速响应。
以滞留部分较少的流路结构提高了置换特性。
接触液体部位全部采用氟树脂,洁净度和耐腐蚀性高。

【降低压力变动】
抑制膜片泵的脉动等。
可根据生产品及处方的不同远程变更设定压力。

【追加小型化机种】
将配管口径1/4”和 3/8” 添加到紧凑型PMP002系列中。

衍生系列
型号PMP002
产品名称
小口径
推荐流量
0.2~3ℓ/min
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/4”, 3/8” 6mm, 10mm
配管方式
SUPER 300
备注
型号PMP202
产品名称
小~中口径
推荐流量
0.2~5 ℓ/min
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/4”, 3/8”, 6mm, 10mm
配管方式
SUPER 300, F-LOCK60
备注
型号PMP402
产品名称
大口径
推荐流量
2~20 ℓ/min
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/2”, 3/4”, 1”, 12mm, 25mm
配管方式
SUPER 300
备注

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