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产品详情

回吸阀

气控阀・回吸阀一体型

型号
AMDS
行业
  • 半导体制造工序(前工序)

以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品,可削减配管工时并实现紧凑化。

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产品功能

【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合,可调节为最佳滴液状态。
气控阀・回吸一体型。

衍生系列
型号AMDSZ0
产品名称
小口径
最大回吸量
0.04 cm3
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/8”, 3 mm
配管方式
SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60
备注
型号AMDS00
产品名称
中口径
最大回吸量
0.12 cm3
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/8”, 1/4”, 6 mm, 6.35mm
配管方式
SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC
备注

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