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产品详情

回吸阀

回吸阀

型号
AMS
行业

以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。

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安全注意事项

CKD plus 仅限会员

产品功能

【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合,可调节为最佳滴液状态。

【动作原理】
要流入流体时,事先对控制气口施加气压,降下膜片。
阻止流体时,如果向大气排放控制气口的空气,膜片在弹簧力的作用下上升,吸油阀内的容积增大,从而防止流体滴落。

衍生系列
型号AMSZ2
产品名称
小口径
回吸量
0.04 cm3
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/8”, 3 mm
配管方式
SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc
备注
型号AMS022
产品名称
中口径
回吸量
0.12 cm3
连接尺寸(配管外径・螺纹直径)
1/8”, 1/4”, 6 mm
配管方式
SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc
备注

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