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集成化供气系统

集成化供气系统

型号
IAGD5
行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学气体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.125inch、采用W密封。

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产品功能

【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件,构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付,可减少客户的工时。

衍生系列
型号IAGD5
产品名称
集成化供气系统
内容
-
尺寸
-
配管方式
W密封
备注
型号MAGD5-R
产品名称
集成化供气系统用元件
内容
气控阀
尺寸
1.125inch
配管方式
-
备注
型号MMGD5-R
产品名称
集成化供气系统用元件
内容
手动阀
尺寸
1.125inch
配管方式
-
备注
型号MFGD5
产品名称
集成化供气系统用元件
内容
流量调节阀
尺寸
1.125inch
配管方式
-
备注
型号MCPG5
产品名称
集成化供气系统用元件
内容
单向阀
尺寸
1.125inch
配管方式
-
备注

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