产品详情
工艺气体用元件
气控阀
- 型号
- AGD
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。
- 产品功能
【标准型】
耐久性：100万次（实测值400万次）
适用于集成化供气系统（1.5inch, 1.125inch）【内部密封性能大幅提升】
通过最佳密封结构和表面精度的提高，减少颗粒的产生。
- 衍生系列
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- 型号AGD0※R-4RM
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 1/4”JXR公接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD0※R-4R
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 1/4”JXR母接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD1※R-4RM
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 1/4”JXR公接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD1※R-4R
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 1/4”JXR母接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD1※R-4S
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 1/4”双卡套接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD2※R-6RM
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 3/8”JXR公接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD2※R-6R
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 3/8”JXR母接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注
- 型号AGD2※R-6S
- 产品名称
- 工艺气体用气控阀
- 配管方式
- 3/8”双卡套接头
- 动作方式
- NC型, NO型
- 备注