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工艺气体用减压阀

工艺气体用减压阀

型号
PGM

NEW

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件

CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整,实现稳定的工艺控制。

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安全注意事项

CKD plus 仅限会员

产品功能

【高密封性】
有助于工艺稳定化
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● 最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏(流出)

【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制

【减少迟滞】
安全满足目标压力
● 采用高品质材料
● 超精密加工

衍生系列
型号PGM-30V
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
20ℓ/min
2次侧设定压力
-0.07~0.21Mpa
备注
型号PGM-30
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
20ℓ/min
2次侧设定压力
0~0.21Mpa
备注
型号PGM-50
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
20ℓ/min
2次侧设定压力
0~0.35Mpa
备注
型号PGM-100
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
20ℓ/min
2次侧设定压力
0~0.7Mpa
备注
型号PGM-H-60
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
50ℓ/min
2次侧设定压力
0~0.42Mpa
备注
型号PGM-H-100
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
50ℓ/min
2次侧设定压力
0~0.7Mpa
备注
型号PGM-2H-30V
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
200L/min
2次侧设定压力
-0.07~0.21Mpa
备注
型号PGM-2H-30
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
200L/min
2次侧设定压力
0~0.21Mpa
备注
型号PGM-2H-60
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
200L/min
2次侧设定压力
0~0.42Mpa
备注
型号PGM-2H-100
产品名称
工艺气体用减压阀
流量
200L/min
2次侧设定压力
0~0.7Mpa
备注

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