产品详情
流量传感器・控制器
气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM
部分衍生系列销售中止
- 产品功能
【超小型、轻量】（FSM-X系列）
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%，轻量4G、最薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。
【非线性特性】（FSM-X系列）
将模拟输出作为非线性特性，提高了低流量领域的分辨率。
【高速响应】（FSM-V・FSM-X系列）
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计【双方向测量】（FSM-V・FSM-X系列）
可进行双方向测量，最适合吸附确认用途。
- 衍生系列
-
- 型号FSM-H
- 产品名称
- 微小流量型
- 配管口径（Φ、M)
- Rc1/8, G1/8
- 备注
- 型号FSM-V
- 产品名称
- 流量传感器（线性）
- 配管口径（Φ、M)
- 1.8,4,5
- 备注
- 型号FSM-VFM
- 产品名称
- FSM・FSM-V专用直管型过滤器
- 配管口径（Φ、M)
- -
- 备注
- 型号FSM-V-D
- 产品名称
- 显示器
- 配管口径（Φ、M)
- -
- 备注
- 型号FSM-X
- 产品名称
- 流量开关（非线性）
- 配管口径（Φ、M)
- 4,5
- 备注
- 型号FSM-A
- 产品名称
- 模拟输出1点
- 配管口径（Φ、M)
- 备注
- 2009年03月31日
销售中止【停产产品】
代替产品：FSM2系列
- 型号FSM-N
- 产品名称
- 开关输出PNP 2点、模拟输出1点
- 配管口径（Φ、M)
- 备注
- 2009年03月31日
销售中止【停产产品】
代替产品：FSM2系列
- 型号FSM-P
- 产品名称
- 开关输出PNP 2点、模拟输出1点
- 配管口径（Φ、M)
- 备注
- 2009年03月31日
销售中止【停产产品】
代替产品：FSM2系列