产品详情
过滤器
硅氧烷・臭氧去除器
- 型号
- SFX
NEW
- 行业
- 半导体制造工序(后工序)
- 安装
专用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器。
99%以上的高去除率使得压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。
- 产品功能
【1台即可去除2种污染物】
采用活性碳滤芯,1台即可去除硅氧烷和臭氧。【可对应高压、大流量】
压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。
- 衍生系列
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- 型号SFX40-8
- 产品名称
- 硅氧烷、臭氧去除器
- 连接工序
- Rc1/4
- 环境温度、流体温度
- 5~50℃
- 备注
- 型号SFX40-10
- 产品名称
- 硅氧烷、臭氧去除器
- 连接工序
- Rc3/8
- 环境温度、流体温度
- 5~50℃
- 备注
- 型号SFX40-15
- 产品名称
- 硅氧烷、臭氧去除器
- 连接工序
- Rc1/2
- 环境温度、流体温度
- 5~50℃
- 备注