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过滤器

硅氧烷・臭氧去除器

型号
SFX
行业
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 安装

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

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安全注意事项

操作说明书

CKD plus 仅限会员

产品功能

【去除2种污染物质】
采用活性炭滤芯,去除环氧烷或臭氧。

【可高压对应】
可在加压状态下使用压缩空气和氮气。

【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。

【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。

衍生系列
型号SFX40-8
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
连接工序
Rc1/4
环境温度、流体温度
5~50℃
备注
型号SFX40-10
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
连接工序
Rc3/8
环境温度、流体温度
5~50℃
备注
型号SFX40-15
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
连接工序
Rc1/2
环境温度、流体温度
5~50℃
备注

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