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产品详情

过滤器

硅氧烷・臭氧去除器

型号
SFX

NEW

行业
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 安装

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

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安全注意事项

操作说明书

CKD plus 仅限会员

产品功能

【对象去除物质】
通过一个机种去除硅氧烷或臭氧。

【使用流体】
可在加压状态下使用压缩空气、氮气。

【去除率】
采用自研活性炭过滤器,实现了99%以上的去除性能。

【提供两种尺寸】
根据使用场景,可从标准流量与大流量两种类型中选择。

【省空间】
通过与本公司调质元件进行模块连接,实现了省空间。

衍生系列
型号SFX40-8
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
接続口径
Rc1/4
最大处理流量(硅氧烷) ※一次压力 0.7MPa时
700L/min(ANR)
最大处理流量(臭氧) ※一次压力 0.7MPa时
560L/min(ANR)
备注
型号SFX40-10
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
接続口径
Rc3/8
最大处理流量(硅氧烷) ※一次压力 0.7MPa时
700L/min(ANR)
最大处理流量(臭氧) ※一次压力 0.7MPa时
560L/min(ANR)
备注
型号SFX40-15
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
接続口径
Rc1/2
最大处理流量(硅氧烷) ※一次压力 0.7MPa时
700L/min(ANR)
最大处理流量(臭氧) ※一次压力 0.7MPa时
560L/min(ANR)
备注
型号SFX90-50
产品名称
硅氧烷、臭氧去除器
接続口径
Rc2
最大处理流量(硅氧烷) ※一次压力 0.7MPa时
6300L/min(ANR)
最大处理流量(臭氧) ※一次压力 0.7MPa时
5000L/min(ANR)
备注

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