产品详情
流量传感器・控制器
气体用小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM2
部分衍生系列销售中止
- 产品功能
【大流量、小体积】
流量范围：0.5～1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。
【无需直管部位】
内置新的整流机构，上游侧和下游侧均无需直管部位，可自由设置。
【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。
【高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现50m/sec的响应速度。【洁净规格】
标配有P70（防止发尘）、P80（禁油规格）产品。
最适合半导体、液晶制造领域的用途。
- 衍生系列
-
- 型号FSM2-A
- 产品名称
- 显示分离型
- 流量范围（L/min）
- 0.5～1000
- 配管口径(Φ, Rc)
- 4～10, 1/8, 1/4, 1/2
- 备注
- 2022年01月31日
销售中止旧的目录
- 型号FSM2-N
- 产品名称
- 显示一体型（开关输出NPN 2点、模拟输出1点）
- 流量范围（L/min）
- 0.5～1000
- 配管口径(Φ, Rc)
- 4～10, 1/8, 1/4, 1/2
- 备注
- 2022年01月31日
销售中止旧的目录
- 型号FSM2-P
- 产品名称
- 显示一体型（开关输出PNP 2点、模拟输出1点）
- 流量范围（L/min）
- 0.5～1000
- 配管口径(Φ, Rc)
- 4～10, 1/8, 1/4, 1/2
- 备注
- 2022年01月31日
销售中止旧的目录
- 型号FSM2-D
- 产品名称
- 分离显示器
- 流量范围（L/min）
- 配管口径(Φ, Rc)
- 备注