产品列表
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- 半导体制造工序
- 化学液体供给设备用元件
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
手动阀
化学液体用手动阀 无金属型
- 型号
- MMD※0M
工艺气体用元件
工艺气体用阀
- 型号
- LGD
采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
工艺气体用元件
气控阀
- 型号
- AGD
采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
高耐久阀
高温・高耐久气控阀
- 型号
- AGD
符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。
- 行业
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
工艺气体用元件
工艺气体用手动阀
- 型号
- OGD
工艺气体用元件
工艺气体用手动阀
- 型号
- MGD
- 搜索条件
- 型号
- 商品类别
- 所有
- 特定用途
- 所有
- 行业
- 半导体制造工序
- 化学液体供给设备用元件
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- 仅显示销售中止产品品