【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 特殊用途、搬送

省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。

行业

采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，可通过电气信号连续且高精度地控制空气压力的电空减压阀。

行业

• 传感器

可从0kPa开始高精度地进行以往未能实现的50kPa以下比例控制的电空减压阀。

行业

是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。

行业

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。
FP1：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）。

行业

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
P40：已在所有构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和镀锌、电解…

行业

省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。
P70：排气处理

行业

是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。
P70：排气处理

行业