小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
（3种产品刊载在1个产品页上。）

【适用缸径：Φ6~Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器

底部配管规格的集成电磁阀。适用于安装在食品机械、水处理工厂、半导体制造装置等节省空间的控制柜中。通过与密封垫*1组合，可在要求防滴性的控制柜中实现空气和电气的分离设置。*1 可从本公司购买。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

IO-Link Wireless设备WD保护案例套件。
具有IP65的防护等级，适用于粉尘环境等IO-Link Wireless用途。

行业

调速阀、消音器、接头一体型的先导式电磁阀。调速阀为带10档调节，任何人都能轻松使用的单元阀。

行业

可使用EtherCAT通信和硬线缆个别供电的电磁阀集成阀。支持最多32连（64点输出）。

行业

将标准型先导式电磁阀的响应时间缩短到1/2以下的先导式电磁阀（高响应规格）。适用于吹气中不良品排出等配管容积较大应用领域的高速化。

行业

集成电磁阀的一次侧与减压阀一体化的特殊规格产品。
可使用连接过滤器和减压阀的连接件进行无配管连接，有助于节省装置空间。

行业

带LOTO功能进气截止阀隔板。装置维护时，作业人员会变更阀的输出状态，因此有时会操作进气截止阀。带锁住键，可锁定输出状态，以防止其它作业人员意外将进气截止阀复原。在符合LOTO标准、安全性和操作性的前提下，保证现场安全。

行业

以小型直动阀3QR系列为基础所开发的特殊规格产品。
①高响应型(2ms)，可在要求高速驱动的装置中通过空气排出工件等追求高节拍的响应性。支持装置的高速化。
②可对应DC5V～32V的自由电源规格。甚至可以通过USB形式的电源进行…

行业

大流量压缩空气用脉冲吹气阀。通过间歇性吹气，有助于碳中和。

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