符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业

• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件