既保持了高真空阀原本的可靠性，还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

结构特殊，采用CKD独有的成型波纹管，实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

手柄旋转式高真空用手动阀。
备有铝阀体型和SUS阀体型。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

结构特殊，采用CKD独有的成型波纹管，实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

X：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。
【接单生产品】

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【停产产品】
代替产品：高真空用气控阀AVB系列

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【停产产品】
代替产品：AVB系列

双O形圈密封方式的气控阀。不锈钢阀体。

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【停产产品】
代替产品：MVB系列

手柄旋转式手动阀。双O形圈密封方式的不锈钢阀体。

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【停产产品】
代替产品：IAVB系列

通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。

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• 半导体制造工序（前工序）
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