采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

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• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

90°旋转快动方式的手动阀。

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• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。

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• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

节能型真空排气装置。工艺气体排气用真空发生器。
喷嘴直径：Φ0.5

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• 化学气体供给设备用元件

【停产产品】
代替产品：工艺气体用手动阀MGD系列

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【停产产品】
代替产品：工艺气体用手动阀OGD系列

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【停产产品】
代替产品：气控阀AGD系列

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【停产产品】
代替产品：气控阀AGDシリーズ

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【停产产品】

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