产品详情
工艺气体用元件
工艺气体用手动阀
- 型号
- OGD
90°旋转快动方式的手动阀。
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序(前工序)
- 氮气清洗关联元件
【90°旋转快动】
只需轻轻转动手柄即可关闭阀。
可通过手柄方向及上面指示器确认阀的开闭状态。
支持面板安装(选择项)。
【内部密封性能大幅提升】
采用活塞杆不旋转的机构实现稳定性。
采用弹簧密封实现稳定性。
通过最佳密封结构和表面精度的提高,减少颗粒的产生。
型号 | 名称 | 配管方式 | 备注 |
---|---|---|---|
OGD10R-4RM | 工艺气体用手动阀 | 1/4”JXR公接头 | |
OGD10R-4R | 工艺气体用手动阀 | 1/4”JXR母接头 | |
OGD10R-4S | 工艺气体用手动阀 | 1/4”双卡套接头 | |
OGD20R-6RM | 工艺气体用手动阀 | 3/8”JXR公接头 | |
OGD20R-6R | 工艺气体用手动阀 | 3/8”JXR母接头 | |
OGD20R-6S | 工艺气体用手动阀 | 3/8”双卡套接头 |
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