产品详情

工艺气体用元件

工艺气体用手动阀

型号
OGD

90°旋转快动方式的手动阀。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 化学液体供给设备用元件
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 氮气清洗关联元件

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【90°旋转快动】
只需轻轻转动手柄即可关闭阀。
可通过手柄方向及上面指示器确认阀的开闭状态。
支持面板安装(选择项)。

【内部密封性能大幅提升】
采用活塞杆不旋转的机构实现稳定性。
采用弹簧密封实现稳定性。
通过最佳密封结构和表面精度的提高,减少颗粒的产生。

型号 名称 配管方式 备注
OGD10R-4RM工艺气体用手动阀1/4”JXR公接头
OGD10R-4R工艺气体用手动阀1/4”JXR母接头
OGD10R-4S工艺气体用手动阀1/4”双卡套接头
OGD20R-6RM工艺气体用手动阀3/8”JXR公接头
OGD20R-6R工艺气体用手动阀3/8”JXR母接头
OGD20R-6S工艺气体用手动阀3/8”双卡套接头

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