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商品詳細

真空関連機器

小形真空レギュレータ

形番
VSRVV

NEW

業種
  • 搬送
  • 組立
  • ハンドリング
  • 検査
  • 実装
  • 半導体製造工程(後工程)

プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

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商品特徴

【ワンプッシュロック】
圧力調整は片手で簡単調整。ロックはワンプッシュ。

【50%の軽量化を実現】
本体を樹脂に、金属部材質はアルミニウムを使用。当社従来品より最大50%の軽量化を実現。

【銅を不使用】
流路部にSUS、アルミ合金を使用、銅イオンを嫌う用途に最適。

【耐オゾン材料を標準使用】
特殊ニトリルゴムを採用。弁部、ダイヤフラム部には劣化防止用の耐オゾン材料を標準採用。

バリエーション
形番VSRVV-※Z
名称
プッシュロックタイプ
備考
形番VSRVV
名称
調圧ネジ・ロックナットタイプ
備考
2022/10/31
販売終了
旧カタログ

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