商品詳細
レギュレータ
クリーン機器用 P5※・P7※シリーズクリーンレギュレータ
- 形番
- RC2000
クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ
- 業種
禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N２の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア（N2)ブローに適しています。
P90：ステンレス材料使用、禁油処理
- 商品特徴
【禁油仕様】
精密洗浄（接ガス部）を施し、クリーンルームにて組立から包装まで一貫生産。
接ガス部にはグリースを不使用。【コンパクト・大流量】
両面50㎜のコンパクトサイズながら、0.8㎥/minの大流量を実現。
(１次圧0.7MPa、設定圧0.5MPa、圧力降下0.1MPa時の流量)【リバース機能付】
1次側圧力が排気されると、2次側圧力が1次側へリバースする機能付き。
2次側に圧力が残らず、安全性を重視。(背圧が加わらない場合）
- バリエーション
-
- 形番RC2000-8-P90
- 名称
- クリーンレギュレータ(クリーン機器用)
- 接続口径(Rc)
- 1/4
- 設定圧力範囲(MPa)
- 標準:0.05~0.7, 低圧:0.02~0.2
- 備考
- 形番RC2000-10-P90
- 名称
- クリーンレギュレータ(クリーン機器用)
- 接続口径(Rc)
- 3/8
- 設定圧力範囲(MPa)
- 標準:0.05~0.7, 低圧:0.02~0.2
- 備考
- 形番RC2000-15-P90
- 名称
- クリーンレギュレータ受注生産(クリーン機器用)
- 接続口径(Rc)
- 1/2
- 設定圧力範囲(MPa)
- 標準:0.05~0.7, 低圧:0.02~0.2
- 備考