商品詳細
エジェクタシステム
真空エジェクタユニット（10.3ｍｍ幅）
- 形番
- VSN・VSNM
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸込み流量】2~9.5 (L/min(ANR))
- 商品特徴
【小形・軽量】
取付けスペースに制約のあるお客様に最適。
製品高さをコンパクト化。【高速かつ安定した応答性】
主弁に直動バルブを採用し、高速かつ安定した応答性を実現。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)【4種類の圧力センサ】
圧力センサは、アナログ出力タイプを4種類用意。
- バリエーション
-
- 形番VSN-H
- 名称
- 単体タイプ・高真空・中流量タイプ
- ノズル径
- Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
- 備考
- 形番VSN-E
- 名称
- 単体タイプ・高真空・少流量タイプ
- ノズル径
- Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
- 備考
- 形番VSNM-H
- 名称
- マニホールドタイプ・高真空・中流量タイプ
- ノズル径
- Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
- 備考
- 形番VSNM-E
- 名称
- マニホールドタイプ・高真空・少流量タイプ
- ノズル径
- Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
- 備考
- 形番VSNM-Z
- 名称
- マニホールドタイプ・ミックス仕様
- ノズル径
- -
- 備考