商品詳細
レギュレータ
パイロット式レギュレータ
- 形番
- PMP
NEW
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールにより安定化できるレギュレータです。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更も可能です。
- 商品特徴
【高精度・高速応答】
ダイアフラム構造の高精度圧力安定性・高速応答対応。
滞留部の少ない流路構造で置換特性向上。
接液部オールフッ素樹脂で高クリーンレベル・高耐食性。
【圧力変動低減】
ダイヤフラムポンプからの脈動などを抑止可能。
生産品やレシピの違いにより遠隔で設定圧力を変更することも可能。
【小型ラインナップ追加】
接続口径1/4"、3/8"に省スペースタイプPMP002 Seriesを追加。
- バリエーション
-
- 形番PMP002
- 名称
- 小口径
- 推奨流量
- 0.2～3ℓ/min
- 接続サイズ(チューブ外形・ネジ径)
- 1/4”, 3/8” 6mm, 10mm
- 接続方式
- SUPER 300
- 備考
- 形番PMP202
- 名称
- 小～中口径
- 推奨流量
- 0.2~5ℓ/min
- 接続サイズ(チューブ外形・ネジ径)
- 1/4”, 3/8” 6mm, 10mm
- 接続方式
- SUPER 300,F-LOCK60
- 備考
- 形番PMP402
- 名称
- 大口径
- 推奨流量
- 2~20ℓ/min
- 接続サイズ(チューブ外形・ネジ径)
- 1/2”, 3/4”, 1” 12mm, 25mm
- 接続方式
- SUPER 300
- 備考