商品詳細
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 薬液供給設備向け機器
薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。
- 商品特徴
【使用圧力の範囲を拡大】
新シール構造により、使用圧力範囲を拡大。
Ａ・Ｂポートの使用圧力を共通化。
【酸・アルカリ問わず対応可能】
耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」をアクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、標準で幅広く対応可能。
【流体温度を拡大】
標準品の使用流体温度範囲を大幅に拡大（Max. 120℃）。
弁の開閉を信号で確認できるセンサ付をオプション化。
【3種類の取付方法】
従来のフランジ取付・底面取付に加えて、４点フランジ取付を追加。
- バリエーション
-
- 形番AMD※※3R
- 名称
- 2ポート弁
- 接続サイズ(チューブ外形)
- 1/8”, 1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 3mm,6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm
- オリフィス径
- 2～20mm
- 接続方式
- スーパー300, F-LOCK60
- 備考
- 形番AMG※※3R
- 名称
- 3ポート弁
- 接続サイズ(チューブ外形)
- 1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm
- オリフィス径
- 3.5～20mm
- 接続方式
- スーパー300, F-LOCK60
- 備考
- 形番GAMD※※3R
- 名称
- マニホールド
- 接続サイズ(チューブ外形)
- 1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm
- オリフィス径
- 3.5～20mm
- 接続方式
- スーパー300, F-LOCK60
- 備考