商品詳細
集積化ガス供給システム
集積化ガス供給システム
- 形番
- IAGD3
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 薬ガス供給設備向け機器
省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、CSシール対応。
- 資料・ダウンロード
カタログPDF
CKD plus 会員限定
- 商品特徴
【集積ユニット】
プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。
プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。
設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。
- バリエーション
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- 形番IAGD3
- 名称
- 集積化ガス供給システム
- 内容
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- サイズ
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- 接続方式
- CSシール
- 備考
- 形番MAGD3
- 名称
- 集積化ガス供給システム用機器
- 内容
- エアオペレイトバルブ
- サイズ
- 1.5inch
- 接続方式
- -
- 備考
- 形番MOGD3
- 名称
- 集積化ガス供給システム用機器
- 内容
- マニュアルバルブ
- サイズ
- 1.5inch
- 接続方式
- -
- 備考
- 形番MFGD3
- 名称
- 集積化ガス供給システム用機器
- 内容
- 流量調整バルブ
- サイズ
- 1.5inch
- 接続方式
- -
- 備考
- 形番MCGP3
- 名称
- 集積化ガス供給システム用機器
- 内容
- チェックバルブ
- サイズ
- 1.5inch
- 接続方式
- -
- 備考