商品詳細
高真空用機器
真空圧力制御システム
- 形番
- IAVB
- 業種
- 半導体製造工程(前工程)
- 半導体製造工程(後工程)
従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。
- 商品特徴
【スロー排気制御が可能】
一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現。【圧力制御機能の追加】
信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。
真空時の圧力調整に、レギュレータやバリアブルリークは不要。
ポペット弁方式の採用により、バタフライバルブが苦手とする全閉動作を、Oリングシール構造で実現。【簡単メンテナンス】
バルブと電装部を個別でメンテナンス可能。
- バリエーション
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- 形番IAVB※17
- 名称
- 真空圧力制御システム
- 接続方式
- NW16、25、40、50
- 備考
- 形番IAVB-CONT
- 名称
- IAVB用コントローラ
- 接続方式
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- 備考