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商品詳細

高真空用機器

高真空用エアオペレイトバルブ

形番
AVB
業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 半導体製造工程(後工程)

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。

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商品特徴

【長寿命・高耐久】(パート7シリーズ)
独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。
成形べローズの形状最適化により高い耐久性。
アルミボディ採用で軽量化。
実力値300万回の圧倒的な耐久性(当社規定条件にて)。

【設置・配管の自由度アップ】(パート7シリーズ)
4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。
4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。

【長寿命・低発塵】(パート3シリーズ)
バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。
長寿命成形べローズ。
SUSボディタイプ。

バリエーション
形番AVB※17
名称
成形ベローズ方式
接続方式
NW16、25、40、50、63、80
作動方式
NC形
ボディ
アルミボディ
備考
形番AVB※47
名称
成形ベローズ方式
接続方式
NW25、40、50、63
作動方式
二段形
ボディ
アルミボディ
備考
形番AVB※37
名称
成形ベローズ方式
接続方式
NW16、25、40、50、63、80、100
作動方式
複動形
ボディ
アルミボディ
備考
形番AVB※13
名称
成形ベローズ方式
接続方式
NW25,40,50,80
作動方式
NC形
ボディ
ステンレスボディ
備考
形番AVB※23
名称
成形ベローズ方式
接続方式
NW25,40,50,80
作動方式
NO形
ボディ
ステンレスボディ
備考
形番AVB※33
名称
成形ベローズ方式
接続方式
NW25,40,50,80
作動方式
複動形
ボディ
ステンレスボディ
備考

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