商品詳細
高真空用機器
電動真空弁
- 形番
- EVB
2021/3/31販売終了
- 商品特徴
【モータ駆動で開度設定30点】
外部信号によるモータ駆動で開度調整。
最小ピッチ0.15mm(NW25の場合)。
簡易的なコンダクタンス可変のシステムや真空制御の自動化に最適。【開度監視機能、各種信号出力機能】
内蔵エンコーダで現在開度を監視。
弁開・弁閉状態の動作完了信号、アラーム出力機能付で安心。
- バリエーション
-
- 形番EVB※17
- 名称
- 電動真空弁
- 接続方式
- NW25, 40, 50
- 備考
- 2021/3/31
販売終了旧カタログ