お問い合わせはこちら 商品詳細 高真空用機器 電動真空弁 形番 EVB 2021/3/31販売終了 業種 半導体製造工程(前工程)半導体製造工程(後工程) お気に入りに追加 【販売終了品】代替商品:IAVBシリーズモータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。 資料・ダウンロードカタログPDFCKD plus 会員限定 商品特徴 バリエーション 商品特徴 【モータ駆動で開度設定30点】外部信号によるモータ駆動で開度調整。最小ピッチ0.15mm(NW25の場合)。簡易的なコンダクタンス可変のシステムや真空制御の自動化に最適。【開度監視機能、各種信号出力機能】内蔵エンコーダで現在開度を監視。弁開・弁閉状態の動作完了信号、アラーム出力機能付で安心。 バリエーション 形番EVB※17 名称 電動真空弁 接続方式NW25, 40, 50 備考 2021/3/31販売終了旧カタログ 商品一覧へ戻る