商品詳細
プロセスガス用機器
エアオペレイトバルブ
- 形番
- AGD
- 業種
- 薬ガス供給設備向け機器
- 薬液供給設備向け機器
- 半導体製造工程（前工程）
- N2パージ関連機器
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。
- 商品特徴
【スタンダードタイプ】
耐久性：100万回（実績値400万回）
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch）【内部シールの性能アップ】
最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。
- バリエーション
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- 形番AGD0※R-4RM
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 1/4”JXRオス継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD0※R-4R
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 1/4”JXRメス継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD1※R-4RM
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 1/4”JXRオス継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD1※R-4R
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 1/4”JXRメス継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD1※R-4S
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 1/4”二重くい込み継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD2※R-6RM
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 3/8”JXRオス継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD2※R-6R
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 3/8”JXRメス継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考
- 形番AGD2※R-6S
- 名称
- プロセスガス用エアオペレイトバルブ
- 接続方式
- 3/8”二重くい込み継手
- 作動方式
- NC形、NO形
- 備考