商品詳細
高耐久バルブ
高温・高耐久ガスバルブ
- 形番
- AGD
- 業種
- 薬液供給設備向け機器
- 薬ガス供給設備向け機器
- 半導体製造工程（前工程）
- N2パージ関連機器
微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。
- 商品特徴
【高耐久、高応答、安定性能を実現】
業界No.1の最高1億回動作耐久性。
Cv値・応答性の長期安定性確保。
【AGD-HDシリーズ】
耐久性：1000万回保証（実績値：3000万回）
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch）
単品バルブ対応可能
【AGD-HDFシリーズ】
耐久性：1000万回保証（実績値：3000万回）
高温対応：～200℃
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch）
単品バルブ対応可能
応答安定アクチュエータ搭載
【AGD21R-Aシリーズ】
耐久性：3000万回保証（実績値：1億回）
流体温度：150～200℃対応
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch）
応答安定アクチュエータ搭載
高Cv値：0.4以上
- バリエーション
-
- 形番AGD※※R-HD
- 名称
- 高耐久ガスバルブ
- 流体温度
- 5~80℃
- 実績値
- 3000万回以上
- 備考
- 形番AGD※※R-HDF
- 名称
- 高温・高耐久バルブ
- 流体温度
- 20~200℃
- 実績値
- 3000万回以上
- 備考
- 形番AGD21R-A
- 名称
- 高温・高耐久バルブ
- 流体温度
- 150~200℃
- 実績値
- 1億回以上
- 備考