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商品詳細

わかば商品

小形電磁比例弁 【特別仕様品】

形番
3QB
業種
  • 半導体製造工程(前工程)

電流に比例して流量制御できる比例電磁弁です。
10mm幅の超小型、静音設計。装置の省スペース化に貢献します。

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CKD plus 会員限定

商品特徴

【超小型】
コイル幅10mm。制御対象近くにも設置可能。

【流量調整範囲:0~9L/min】
微少流量の比例制御が可能。

※ヒステリシス
DC12V:10%
24V:20%

【半導体前工程】
機器の省スペース性が求めらる半導体レジスト塗布工程などで使用可能です。

バリエーション
形番3QB11OP
名称
単体バルブ【特別仕様品】
接続口径
M5、Φ4バーブ継手
備考
形番M3QB11OP
名称
個別配線マニホールド【特別仕様品】
接続口径
M5、Φ4バーブ継手
備考

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