【軽量・コンパクト】
10.5ｍｍ幅のコンパクトボディにより、多連で使用しても設置がコンパクト。
固定方法には、側面からネジ等により固定するダイレクトマウントタイプ、およびDINレールへの取付けが可能なDINレール取付タイプを用意。

【真空破壊時間を大幅短縮】
3ポート弁仕様は、真空供給用主弁を3ポート弁にすることにより、真空から大気圧に至るまでの所要時間(真空破壊時間)を大幅に短縮。