【真空破壊時間を大幅短縮】
真空発生用バルブは、ノーマルクローズタイプ、及び省電力対応の自己保持タイプを用意。
いずれのバルブも応答性を極限まで追求し、真空システムのハイサイクル化を実現。

【軽量・コンパクト】
10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクト。
固定方法には、側面からネジ等により固定するダイレクトマウントタイプ、及びDINレールへの取付けが可能なDINレール取付タイプを用意。