商品詳細
流量センサ・コントローラ
気体用超小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM
一部バリエーション販売終了
- 商品特徴
【超小形・軽量】（FSM-Xシリーズ）
センサヘッドを分離することにより超小形化を実現。
従来体積比52%減、軽量4G最薄8mmを実現。
センサヘッド単品、流路ブロック付の2種類ラインアップ。
【ノンリニア特性】（FSM-Xシリーズ）
アナログ出力をノンリニア特性としている為、低流量域の分解能向上。
【高速応答】（FSM-V・FSM-Xシリーズ）
5msの高速応答があきらめていた設計を実現【双方計測】（FSM-V・FSM-Xシリーズ）
双方向計測が可能なため、吸着確認用途に最適です。
- バリエーション
-
- 形番FSM-H
- 名称
- 微少流量タイプ
- 接続口径（Φ,M)
- Rc1/8, G1/8
- 備考
- 形番FSM-V
- 名称
- 流量センサ【リニア】
- 接続口径（Φ,M)
- 1.8,4,5
- 備考
- 形番FSM-VFM
- 名称
- FSM・FSM-V専用インラインフィルタ
- 接続口径（Φ,M)
- -
- 備考
- 形番FSM-V-D
- 名称
- 表示器
- 接続口径（Φ,M)
- -
- 備考
- 形番FSM-X
- 名称
- 流量スイッチ【ノンリニア】
- 接続口径（Φ,M)
- 4,5
- 備考
- 形番FSM-A
- 名称
- アナログ出力1点
- 接続口径（Φ,M)
- 備考
- 2009/3/31
販売終了旧カタログ【販売終了品】
代替商品：FSM2シリーズ
- 形番FSM-N
- 名称
- NPN出力2点、アナログ出力1点
- 接続口径（Φ,M)
- 備考
- 2009/3/31
販売終了旧カタログ【販売終了品】
代替商品：FSM2シリーズ
- 形番FSM-P
- 名称
- PNP出力2点、アナログ出力1点
- 接続口径（Φ,M)
- 備考
- 2009/3/31
販売終了旧カタログ【販売終了品】
代替商品：FSM2シリーズ