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商品詳細

フィルタ

シロキサン・オゾンリムーバ

形番
SFX

NEW

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 実装

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99%の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

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CKD plus 会員限定

商品特徴

【対象除去物質】
シロキサンもしくはオゾンのどちらかを1機種で除去。

【使用流体】
加圧状態のまま圧縮空気、窒素ガスで使用可能。

【除去率】
オリジナル活性炭フィルタで99%以上の高い除去性能を実現。

【2種類のサイズ展開】
使用箇所により標準と大流量の2種類から選択可能。

【省スペース】
当社調質機器とのモジュール接続で省スペース化。

バリエーション
形番SFX40-8
名称
シロキサン・オゾンリムーバ
接続口径
Rc1/4
最大処理流量(シロキサン) ※1次圧力0.7Mpa時
700L/min(ANR)
最大処理流量(オゾン) ※1次圧力0.7Mpa時
560L/min(ANR)
備考
形番SFX40-10
名称
シロキサン・オゾンリムーバ
接続口径
Rc3/8
最大処理流量(シロキサン) ※1次圧力0.7Mpa時
700L/min(ANR)
最大処理流量(オゾン) ※1次圧力0.7Mpa時
560L/min(ANR)
備考
形番SFX40-15
名称
シロキサン・オゾンリムーバ
接続口径
Rc1/2
最大処理流量(シロキサン) ※1次圧力0.7Mpa時
700L/min(ANR)
最大処理流量(オゾン) ※1次圧力0.7Mpa時
560L/min(ANR)
備考
形番SFX90-50
名称
シロキサン・オゾンリムーバ
接続口径
Rc2
最大処理流量(シロキサン) ※1次圧力0.7Mpa時
6300L/min(ANR)
最大処理流量(オゾン) ※1次圧力0.7Mpa時
5000L/min(ANR)
備考

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